При нанесении современных тонкопленочных оптических покрытий с числом слоев до нескольких сотен необходим высокоточный контроль оптической толщины каждого из слоев. Важно также иметь инструмент управления процессом нанесения, чтобы получить соответствующую расчетным значениям толщину слоев. Авторы предлагают решить задачу контроля и управления процессом нанесения тонкопленочных оптических покрытий с помощью прецизионного ОЕМ-спектрофотометра ESCORT SM. ESCORT SM производит быстрые и прецизионные измерения спектров пропускания или спектров отражения наносимого покрытия, необходимые для контроля и оптимизации технологического процесса.

sitemap

Разработка: студия Green Art