Аналитика - научно-технический журнал - Материалы тега

главная

eng

Вход

Архив журнала

Журналы

Медиаданные

Редакционная политика

Авторам

Контакты

© 2001-2024
РИЦ Техносфера
Все права защищены
Тел. +7 (495) 234-0110
Оферта

R&W

ISSN 2227-572X
ISSN 2687-1351 (online)

Книги по аналитике

Тег "микроволновая плазма"

Аналитика #2/2020
О. В. Пелипасов, В. А. Лабусов, А. Н. Путьмаков
Атомно-эмиссионный спектрометр с азотной микроволновой плазмой «Гранд-СВЧ»

DOI: 10.22184/2227-572X.2020.10.2.140.146 Атомно-эмиссионная спектрометрия с микроволновой плазмой (АЭС-МП) – привлекательный метод элементного анализа растворов, поскольку для его реализации в качестве рабочего газа применяют полученный из воздуха азот. Изменение условий возбуждения аналита с помощью варьирования параметров источника возбуждения плазмы стали необходимым набором опций современных оптических спектрометров при разработке новых или адаптации уже существующих методик анализа. Использование микроволновой плазмы тороидальной формы спектрометра «Гранд-СВЧ», стабильной и устойчивой в широком диапазоне рабочих параметров существенно улучшило характеристики метода АЭС-МП.

Печатный монтаж #2/2017
О.Симонов
Использование микроволновой плазмы для удаления фоторезиста при групповой обработке полупроводниковых пластин

DOI: 10.22184/1992-4178.2017.162.2.180.184