Аналитика #4/2018
Osamu Terasaki, Yanhang Ma, Yuusuke Sakuda, Hideyuki Takahashi, Kenichi Tsutsumi, Shunsuke Asahina, Masato Kudo, Robert W.Corker
Оценка и структурный анализ наноматериалов на сканирующем электронном микроскопе с высоким пространственным разрешением
В сканирующей электронной микроскопии эмиттер испускает пучок электронов, фокусируе- мый электромагнитными линзами в тончайший электронный луч (зонд), который в процессе растрового сканирования облучает поверхность образца. Сигналы генерируются в виде вторичных иотраженных электронов, а также характеристического рентгеновского излучения. Сканирование с нанометровым пространственным разрешением позволяет получать инфор- мацию отопографии поверхности образца, ее составе, кристаллической структуре и химиче- ских связях. Уменьшая энергию первичных электронов, можно минимизировать повреждения образца в результате облучения, а также повысить качество изображения диэлектрических образцов с возможностью выборочного получения информации о поверхности. УДК 53.086; ВАК 05.11.01 DOI: 10.22184/2227-572X.2018.41.4.380.383